概述
一、Inv原理图
根据原理图以及layout
二、LSW版图层次
drw代表可以画,label.
版图工艺层的信息,非常重要,选择某些层。介绍常用层数以及功能。
AA:有源层。
NW:nwell n阱
dnw:在p sub上制作一个dnw,隔离一个单独的衬底,主要用于衬低隔离。
GT:栅极。
SN:层,N型注入。
SP:p型注入。
M1:金属-M8层。目前工艺是六层。
一层多晶硅,六层金属互连层。
过孔:V1,金属一层到2层的过孔。
V2:5层到6层的过孔。
下面:标识层。PSUB。文字CTXT。一些电阻的标识层。
TM2: TM层,为顶层厚金属。
三、调用
首先选中schematic里面的器件,然后生成器件版图。
Shift +F 显示所有层次。
Ctrl +A 显示器件。
四、器件
1、NMOS晶体管
3、打散层次
由于是NMOS管是Pcells,必须选中Pcells 然后打散。(选中后打撒,打散后选中Q,可查看属性。)
AA 有源层。M1。金属一层。
CT是金属过孔。NMOS晶体管基本构成。
4、NV只显示一层
隐藏其他层次。NV-LSW.
2、PMOS管
多一个NW层次。
五、格点分辨率
OPtion-DISplay,
X snap Spacing =0.05um.
六、版图连线关系
栅相连,源漏相连晶体管。
延长连线
快捷键P;显示连线起始段:
选择层次:M1层。回车键则将延长的画完。
连线宽度
选择连线按Q,宽度0.16um。
对齐和修改
M,移动M1到栅的中间。注:由于栅的格点设置间宽不对,会导致一些对齐上的误差。修改到0.005um。(原为0.05um,修改为最小格点。)
漏端都连接在一起。
源漏各接地和电源。
七、过孔
CREAT CONTACT。
过孔种类
M2到M2,M3-M2,M1到GT,
尺寸:以及行数和列数。
由于过长,Colums修改由3改为2,防止碰到金属线M1.
八、最小线宽要求DRC
参考:7.1 版图几何设计规则
注:各类型要求。
R,表示画矩形的快捷键。
F和鼠标右键助力窗口的大小。
Shift +Z 逐步缩小版图的快捷键。
C 拷贝过孔。
M 移动过孔。R,画栅级。
2金属2 层。
注:栅连接的难点
1、M1的M1-GT,以及GT层。
2、M2-M1,用M2连接。
#pic_center)
短距离用M2 ,近距离用M1。
金属2到金属1的连接。GT用GT-M1相连,M1和M2通过M2-M1通孔连接,可没有M1层。?DRC检查。
9、衬底接触环
nmos管
M1-SUB。SUB阱。
AA层。Psub环路。有源区。
Pmos管
N1-NWLL
N阱保护环画一个有源层。
SN层的N型注入。
NW层。
10、AA层
有交叉则用M2
有源层。
快捷键
R,表示画矩形的快捷键。
F和鼠标右键放大助力窗口的大小。
首先选中schematic里面的器件,然后生成器件版图。
Shift +F 显示所有层次。
Ctrl +A 显示器件。
Q可替换金属层次,修改线宽。
隐藏其他层次。NV-LSW
K 快捷键尺子。.
Shift +K 不显示所有标识。
S 选中,延长连线。
Cret_LABE;
最后
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