三线压力传感器原理_柔性压力传感器的开发——设计原理
点击上方“智能传感器专委会”关注我们1 引言近年来,许多的专家学者对基于外延层和柔性压力衬底的传感器和 MEMS 压力传感器的应用进行了研究。以柔性压力材料为衬底的传感器具有良好的电绝缘性及力学性能, 使得柔性压力基底材料的传感器和 MEMS 柔性压力传感器被广泛应用。基于柔性外延层和压力衬底传感器目前作为一种新型的压力传感器已经发展成为各种电子设备的皮肤、可穿戴传感器等电子设备、柔...