麦克纳姆轮运动原理_鬼斧神工的MEMS，10种主流MEMS器件原理全解析
这是一个知识分享和传播的平台，耐心阅读到最后，终将有惊喜和收获。鬼斧神工的MEMS10种主流MEMS器件原理全解析文 | 步日欣MEMS( Micro Electro Mechanical System，微机电系统)，也叫做微电子机械系统，指采用微米甚至纳米工艺制造的微型智能化机电系统。MEMS是在微电子技术基础上发展起来的，工艺基础也是微电子常用的光刻技术，并融合硅微加工、非硅微加工和...
