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前途无量的MEMS传感器技术

前途无量的MEMS传感器技术

MEMS传感器即微机电系统（Micro-electro Mechanical Systems），是指将精密机械系统与微电子电路技术结合发展出来的一项工程技术，它的尺寸一般在微米量级。
通信技术 2023-05-23

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