光谱共焦的测量原理及厚度测量模式
光谱共焦位移传感器通过一束白光（或多波长混合光） 经过一个小孔，经过镜头将不同的波长聚焦到光轴上， 色散地形成一条彩虹状分布带，照射到样品上，部分反射光反射回去。没有照射在光轴与物体表 面交点的光经过分光部件， 照射在另一个小孔周围被 阻挡，无法照射到光谱分析仪，不会干扰测量。照射在光轴与物体表面交 点的光经过分光部件，通 过小孔照射到光谱分析仪。根据波长计算就可以获得镜头到被测物距离。今天，小编介绍光谱共焦位移传感器检测原理和厚度检测模型。光谱共焦的测量原理及厚度测量模式光谱共焦检测技术分析特
