MEMS振镜基本理论MEMS振镜是一种基于微机电系统（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）技术制作而成的微小可驱动反射镜。镜面直径通常只有几毫米。与传统的光学扫描镜相比，具有重量轻，体积小，易于大批量生产，生产成本较低的优点。在光学，机械性能和功耗方面表现更为突出。因此，MEMS振镜已经在条形码扫描，高清投影，激光共焦显微系统等领域得到应用。MEMS振镜分类MEMS扫描镜可以根据以下方面进行分类：工作原理：反射、折射或衍射；驱动原理：静电驱动、电磁驱动、压电
MEMS
2023-05-23
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