MEMS压电麦克风压电材料压电材料是指受到压力作用在其两端面会出现电荷的一大类单晶或多晶的固体材料，它是进行能量转换和信号传递的重要载体。最早报道材料具有压电特性的是法国物理学家居里兄弟，1880年他们发现把重物放在石英晶体上，晶体某些表面会产生电荷，电荷量与压力成正比，并将其成为压电效应。由于压电材料具有优异的机电耦合效应，可以快速响应外力，因此，将压电陶瓷作为压电换能材料使得麦克风领域开创了新纪元。压电式麦克风克服了电容式麦克风的缺点。压电麦克风采用单层膜设计，制备工艺更为简单，结构上没有空
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2023-10-30
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