传感器技术-电容式传感器（学习笔记六）5.1 电容式传感器的工作原理
电容式传感器5.1 电容式传感器的工作原理5.1.1 变面积式电容传感器(S)5.1.2 变极距式电容传感器(d)5.1.3 变介电常数式电容传感器(xigama)**电容式传感器是把被测量转换为电容值的一种传感器。**它具有结构简单、分辨率高、动态特性良好、自身发热小的优点，可以非接触式测量。电容式传感器测量技术常应用于位移、厚度、液位、压力、转速、加速度、角度、流量、振幅等的测量。5.1 电容式传感器的工作原理5.1.1 变面积式电容传感器(S)变面积式电容传感器的原理图如图5-3所示。当
