基于DSP+FPGA高速宏微半导体运动平台的控制与实现
此外，半导体芯片不断向着更高效率和更高精密化的方向发展，为了进一步满足微电子制造业的高端需求，半导体芯片制造装备中的高加速精密运动平台需要同时满足大行程、高动态响应，高精度定位的综合性要求。宏微运动平台结合了高速、大行程运动和高精度定位的运动特点，是实现高速大行程精准定位的一种重要运动方式，因此，本课题针对高速、高加速、大行程宏微精密运动平台开展深入研究，着力解决宏微运动平台高速大行程下的快速高精密定位的重要问题，对于提高我国微电子制造装备的自主能力与推动我国微电子制造产业的蓬勃发展具有重要意义
