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传感技术复习笔记(5)——电容式传感器1 工作原理2 变极距型电容传感器3 变面积型电容传感器4 变介质型电容传感器

1 工作原理电容式传感器是将被测非电量的变化转换为电容量变化的一种传感器。结构简单、高分辨力、可非接触测量,并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作,这是它的独特优点。随着集成电路技术和计算机技术的发展,促使它扬长避短,成为一种很有发展前途的传感器。由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器,当忽略边缘效应影响时,其电容量与真空介电常数ε0 (8.854×10-12F/m)、极板间介...